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《中华陶瓷》 2020年04为期
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GZO薄膜溅射工艺对性能的影响研究

姚婷婷   仲召进   杨勇   李刚   金克武   王天齐   马立云  
【摘要】:晶莹剔透导电氧化物(TCOs)薄膜近来发展迅猛,意志研究GZO薄膜溅射功率变化对她结晶性能、外部形貌、政治经济学性能以及流体力学性能的影响。研讨结果表明,在利用直流磁控溅射制备GZO薄膜时,存在一番较佳溅射功率范围,有利于促进GZO薄膜粒子扩散迁移,生长及结晶性能的升级,薄膜内载流子浓度和霍尔迁移率的增长,规范化薄膜电学性能。同时GZO薄膜表面由蜂窝状形貌转变为颗粒状形貌,薄膜透光性能相对较好。

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